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フィルムチップ

フィルムチップ

特徴

微細加工を施した樹脂製フィルムを接合した、極めて薄い、流路内蔵チップです。柔軟性にも富み、湾曲させることも可能。小型バルブなどの流体制御機器を搭載することにより、μTASのアプリケーションとしての活用も見込めます。材質は耐食性に優れたポリイミドやCOC(環状オレフィン樹脂)、ポリエチレンナフタレートなどで製作ができます。

SPECIFICATION

1種類

型番名称 FILM TIP

フィルム型樹脂チップへの小型バルブ搭載例
小型バルブであるFVと低消費電力バルブのSMVが搭載したフィルムチップのインテグレーション例
※フィルムチップは株式会社SOHKiとの共同開発製品です。

仕様
製作可能な最大寸法

250mm x 250mm
材質

ポリイミド(PI)
ポリエチレンナフタレート(PEN)
最小流路幅

50μm
フィルム素材の厚み(1層)

25μm
50μm
75μm
最小接合枚数

3枚

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